求助:寻找MIT XeF2(Xenon Difluoride)etching工具# Engineering - 工程d*t2007-10-16 07:101 楼那位大虾知道MIT哪个研究所或研究组有XeF2(Xenon Difluoride)etching工具?我实验中需要把silicon腐蚀掉,形成一个SiO2的membrane. 万分感谢