除了MIS measurement,还有什么实验手段可以测 thin film(1-5nm)的capacitance 最好是外界带入影响小的实验手段,因为我需要build一个数学模型 MIS setup里面metal contact也会贡献capacitance进去,影响我从实验结果derive a model 不好意思,我老是来问问题,找工作问题,学术问题,实在是很烦大家。实在是自己想 好久也想不出来,我们系我是唯一一个做半导体方向的,老板也不懂,实在没人可以讨论 。只好借助网络资源了 先谢了
【在 g********S 的大作中提到】 : Please google the following 2 keywords, maybe they will help : 1. fast IV capacitance method : 2. Time dependent Reflection : : a : 讨论
b*d
25 楼
如果能保证gate leakage and breakdown没有问题,薄了肯定好啊,C大,device容易 turn on啊,low power FET application 所以理论指导寻找leakage和capacitance的平衡点很重要 当然,我的想法还很幼稚的,我随便想想的,还没有想通
【在 w********o 的大作中提到】 : 你为啥不能把film弄厚点,测完了做个scaling : : a : 讨论