请教一个大角度ion mill的问题# Engineering - 工程
l*n
1 楼
【 以下文字转载自 NanoST 讨论区 】
发信人: lyan (风水宝地WsnUnion), 信区: NanoST
标 题: 请教一个大角度ion mill的问题
发信站: BBS 未名空间站 (Fri Sep 7 10:02:30 2007), 转信
有没有角度大于45度的ion mill?
我们实验中可能需要这样一个ion mill设备
其实,我们的问题是这样的
需要用FIB刻一些图案,然后用ion mill去掉被Ga离子
破坏掉的部分,不知道各位兄弟有什么建议,
谢谢。
发信人: lyan (风水宝地WsnUnion), 信区: NanoST
标 题: 请教一个大角度ion mill的问题
发信站: BBS 未名空间站 (Fri Sep 7 10:02:30 2007), 转信
有没有角度大于45度的ion mill?
我们实验中可能需要这样一个ion mill设备
其实,我们的问题是这样的
需要用FIB刻一些图案,然后用ion mill去掉被Ga离子
破坏掉的部分,不知道各位兄弟有什么建议,
谢谢。