据报道,2023年1月27日,美国、荷兰和日本三国的国家安全事务官员在白宫结束高级别谈判,就部分限制对中国出口芯片制造设备达成协议,将把美国于2022年10月7日些出口管制新规扩大到荷兰ASML、日本东京电子(TEL)和尼康(Nikon)等公司。这就是所谓的美日荷“神秘协议”。该“神秘协议”的目的是,严格限制向中国企业供应最先进的芯片制造设备,和严格限制中国从国外购买有助军事和人工智能能力的先进芯片,挫败中国的“军事现代化”。
在今年全国“两会”上,全国政协委员、九三学社中央副主席、中国科学院院士刘忠范带来了关于建设高校集成电路学院的提案。他表示,当前芯片领域的“卡脖子”问题并非理论和基础研究问题,甚至也不是单纯的技术问题,而是深层次的材料、工艺和装备问题。芯片制造涉及材料、化学化工、物理、微电子、机械制造等诸多学科领域。高校应从体制机制上强化已有各相关专业院系和学科之间的交叉联动。985、211等部分一流高校强化芯片相关学科建设,重点应放在培养芯片领域的顶尖人才、领军人才以及具有学科交叉能力的复合型人才,瞄准未来芯片领域的高科技竞争,而不是解决当前的“卡脖子”难题。
面对美国的施压,2023年3月8日,荷兰对外贸易和发展合作部长Liesje Schreinemacher在致众议院函中透露,荷兰计划对先进半导体生产设备出口实施额外出口管制措施,这些限制将在今年夏季之前实施。函件的名称是“主题公告:即将出台的先进半导体制造设备出口管制措施”。
Liesje Schreinemacher致众议院函件
函件宣称:先进半导体技术的出口管制框架如2022年12月1日给议会的信中所述,政府已为半导体技术出口管制制定了额外的战略框架。在这方面,以国家间安全为出发点确定了三个战略目标,即: 1、防止荷兰货物造成不必要的最终用途,如军事用途或大规模杀伤性武器;函件宣称:额外的国家出口管制措施涉及半导体生产周期中非常具体的技术,荷兰在其中具有独特的领先地位,例如最先进的深紫外(DUV)浸没光刻和沉积。这些技术与其他地方制造的某些先进技术相结合,在先进半导体的生产中发挥着至关重要的作用。函件宣称:新条例最好在多边环境下采取额外的出口管制措施,以便这些措施最有效;荷兰将在相关的多边出口管制制度瓦森纳协定中提交提案。这些建议以及出口管制制度中讨论的内容都是保密的。西澳州的决定是在协商一致的基础上做出的。然而,目前达成共识的可能性很小。地缘政治环境的变化预计会影响该政权,因为俄罗斯联邦也是该政权的成员,可以阻止该提议。欧盟随后自动将该制度最终通过的提案纳入附件一,即包含所有受管制货物和技术的《欧洲双重用途条例》附件。由于荷兰认为出于(国际)国家安全原因,有必要尽快控制这项技术,因此政府还将通过检察官制度建立一个国家控制清单,与多边进程并行并相辅相成。
令人意外的两点
ASML公司的DUV浸没光刻的事情已经是广为人知了。众所周知,ASML被禁止向中国企业出售先进的极紫外光刻(EUV)设备,ASML是该设备的唯一生产商,在高端光刻机世界范围内占有90%的市场。最新的提案将进一步禁止ASML出售比极紫外光刻更低一档的产品,即深紫外(DUV)浸没光刻。ASML同日在一份声明中说,这些措施将“不会对2023年或更长时期的财务展望产生重大影响”。但该公司称,先进的DUV系统需要申请出口许可。声明说,“重要的是要考虑到额外的出口管制并不适用于所有浸没式光刻工具,而是只针对‘最先进的’工具”。该公司称,尚未就“最先进的”确切定义获得指导意见。早前芯光社特邀专家预测:对于光刻机而言,ASML的2款湿式193nm光刻机大概率在禁运名单中。具体型号是TWINSCAN NXT 2000i和TWINSCAN NXT 2050i。更早一点的TWINSCAN NXT 1980Di和TWINSCAN NXT 1970Ci应该不在禁运名单中。这个预测是否准确,用不着多长时间,答案就见分晓了。本文不再做讨论。
1、ASM国际(泛欧交易所代码:ASM)公司最先进的沉积设备被列入额外的国家出口管制措施;2、荷兰将在相关的多边出口管制制度瓦森纳协定中提交提案,俄罗斯联邦可以阻止该提议。
ASMI公司2022年财务情况
ASMI公司现有研发人员965人,2022年研发投入是3.02亿欧元。研发投入占总营收的12.53%。 ASMI公司2022年财务情况
20世纪60年代,苏联科学家在开展催化剂和吸附剂表面修饰研究时发现在硅胶表面生长的TiO2具有自限制特性,提出 “分子层”概念。20世纪70年代芬兰赫尔辛基大学科学家建立了第一个原子层外延沉积系统,并因此在1977年获得了世界上第一个原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)的发明专利。即通过气相前驱体及反应物脉冲交替地通入反应腔,并在基底上发生表面化学反应,从而将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
1999年,ASMI公司收购了位于芬兰赫尔辛基的Microchemistry公司(赫尔辛基大学教师的初创公司,赫尔辛基大学是世界上最大的ALD学术研究中心),开始一路开挂。
当前ASMI公司的ALD 设备全球市场份额约为50%。
2022年9月23日,CINNO Research发布了1H'22全球半导体设备厂商排名Top10,ASMI公司名列第九。ASML名列第二。 1H'22全球半导体设备厂商营收排名Top10
图源:CINNO Research
1996年7月,包括“巴统” 17国在内的33个国家在荷兰瓦森纳签署设立《瓦森纳协定》,并于1996年9月开始实施至今,并动态更新。《瓦森纳协定》全称为《关于常规武器和两用物品及技术出口控制的瓦森纳定》(Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies)。
《瓦森纳协定》延续了“大名鼎鼎”的巴统
图源:《瓦森纳协定》官网
当前,《瓦森纳协定》的签署国家共有42个,包括:阿根廷、澳大利亚、奥地利、比利时、保加利亚、加拿大、克罗地亚、捷克共和国、丹麦、爱沙尼亚、芬兰、法国、德国、希腊、匈牙利、印度、爱尔兰、意大利、日本、拉脱维亚、立陶宛、卢森堡、马耳他、墨西哥、荷兰、新西兰、挪威、波兰、葡萄牙、韩国、罗马尼亚、俄罗斯联邦、斯洛文尼亚、斯洛伐克、南非、西班牙、瑞典、瑞士、土耳其、乌克兰、英国和美国。是的,你没有看错,俄罗斯联邦是《瓦森纳协定》签署国,乌克兰也是。所以,正如Liesje Schreinemacher致众议院函件所宣称,“地缘政治环境的变化预计会影响该政权,因为俄罗斯联邦也是该政权的成员,可以阻止该提议” 。当然,乌克兰也有权利阻止该提议。
2023年3月6日,外交部发言人毛宁主持例行记者会。澎湃新闻记者:我们注意到,美国企业家比尔·盖茨最近接受采访时表示,美国试图阻止中国研发芯片的努力是徒劳的,只会减少美国就业、切断产品销路。美国经济学家大卫·戈德曼也表示,美国可以完全与中国经济“脱钩”是幻想,制裁不会压垮中国的半导体产业。中方对此有何评论?毛宁:自从美国推出《芯片与科学法》以来,不少美国商界机构和人士都提出了关切和质疑,指出美国半导体行业高度依赖全球供应链,“脱钩”不仅违背产业发展规律,还将使美国付出巨大的经济和技术成本。据波士顿咨询集团预测,如对华完全“脱钩”,美国半导体行业将失去18%的全球市场份额和37%的收入,减少1.5万至4万个高技能工作岗位。美国希望在高科技行业保持全球领先,这无可厚非,关键在于公平竞争,不能为了维持科技霸权不择手段,不能剥夺其他国家的发展权利,更不应当为一己之私破坏全球产供链,让本已脆弱的世界经济雪上加霜。我还想强调的是,中国的发展始终建立在自身力量的基点上。从“两弹一星”到载人航天、量子通信、北斗导航,事实证明,限制打压阻挡不了中国的发展,只会增强中国自立自强、科技创新的决心和能力。
图源:外交部网站
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