石破天惊！EUV光刻机中国搞定了！
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2023年4月13日下午，中国科学院院士、中国科学院前院长白春礼到长春光机所调研，对其研制成功极紫外光刻机重要部件一一EUV光源工程化样机表示高度肯定。
在光机所金宏书记的陪同下，白春礼先后参观了高通量基因测序仪、EUV光源、02专项等科技创新成果及研究进展，并就相关技术问题与科技人员进行了深入交流。白春礼对长春光机所光电关键核心技术攻关所取得的成绩给予了高度肯定，希望长春光机所继续发挥优良传统，为加快解决光电领域“卡脖子”问题努力作出新的更大贡献。
中国科学院院士张洪杰，长春市科协党组书记、主席周衍广及副主席王立伍陪同调研。
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