Redian新闻
>
台积电押注EUV,继续领跑芯片制造

台积电押注EUV,继续领跑芯片制造

公众号新闻

👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~


来源:内容由半导体行业观察(ID:icbank)anandtech,谢谢。

尽管台积电不能声称自己是第一家使用极紫外 (EUV) 光刻技术的晶圆厂(这一头衔属于三星),但他们确实可以声称自己是最大的晶圆厂。因此,该公司多年来在 EUV 方面积累了丰富的经验,使台积电能够改进使用 EUV 工具的方式,以提高生产率/正常运行时间,并降低使用超精细工具的成本。作为该公司本周欧洲技术研讨会的一部分,他们更详细地介绍了 EUV 使用历史,以及进一步将 EUV 集成到未来工艺节点的进展。


当台积电于 2019 年开始在其 N7+ 工艺(用于华为海思)上使用 EUV 光刻制造芯片时,它占据了全球 EUV 工具安装基数的 42%,即使 ASML 在 2020 年增加了 EUV 光刻机的出货量,台积电的 EUV 份额安装量实际上增加到了 50%。到 2024 年,台积电的 EUV 光刻系统数量将比 2019 年增加 10 倍,尽管三星和英特尔都在提高自己的 EUV 产量,但台积电目前仍占全球 EUV 安装基数的 56%。可以说,台积电很早就决定大力进军 EUV,因此他们今天仍然拥有 EUV 光刻机的最大份额。


值得注意的是,台积电的EUV晶圆产量增幅更大;台积电目前生产的 EUV 晶圆数量是 2019 年的 30 倍。与工具数量仅增加 10 倍相比,台积电产量增长了 30 倍,凸显了台积电如何能够提高 EUV 生产力、减少服务时间和减少工具停机时间全面的。显然,这一切都是通过公司内部开发的创新技术实现的。



台积电表示,自 2019 年以来,其 EUV 系统的日晶圆产能已提高两倍。为此,该公司优化了 EUV 曝光剂量及其使用的光刻胶。此外,台积电大幅改进了 EUV 光罩的薄膜,使其寿命提高了四倍(即增加了正常运行时间),将每个薄膜的产量提高了 4.5 倍,并将缺陷率大幅降低了 80 倍(即提高了生产率并增加了正常运行时间)。出于显而易见的原因,台积电没有透露它是如何如此显着地改进其薄膜技术的,但也许随着时间的推移,该公司的工程师将与学术界分享这一点。



EUV 光刻系统也因其功耗而臭名昭著。因此,除了提高 EUV 工具的生产效率外,该公司还通过未公开的“创新节能技术”,将 EUV 光刻机的功耗降低了 24%。该公司还没有就此结束:他们计划到 2030 年将每个 EUV 工具每个晶圆的能源效率提高 1.5 倍。


考虑到台积电目前已通过低数值孔径 EUV 光刻技术实现的所有改进,该公司对未来能够继续生产尖端芯片充满信心也就不足为奇了。尽管竞争对手英特尔已在其未来的 18A 以下节点中全力采用高数值孔径 EUV,但台积电正在寻求利用其高度优化且经过时间考验的低数值孔径 EUV 工具,以避免主要技术的潜在陷阱如此快的过渡,同时还获得了使用成熟工具的成本效益。


参考链接

https://www.anandtech.com/show/21402/tsmc-shares-euv-progress-more-tools-more-wafers-best-pellicles-less-power

点这里👆加关注,锁定更多原创内容

END


*免责声明:本文由作者原创。文章内容系作者个人观点,半导体行业观察转载仅为了传达一种不同的观点,不代表半导体行业观察对该观点赞同或支持,如果有任何异议,欢迎联系半导体行业观察。



今天是《半导体行业观察》为您分享的第3769期内容,欢迎关注。


推荐阅读


EUV光刻机重磅报告,美国发布

碳化硅“狂飙”:追赶、内卷、替代

芯片巨头,都想“干掉”工程师!

苹果,玩转先进封装

GPU的历史性时刻!

大陆集团,开发7nm芯片

张忠谋最新采访:中国会找到反击方法

EUV光刻的新“救星”

『半导体第一垂直媒体』

实时 专业 原创 深度

公众号ID:icbank


喜欢我们的内容就点“在看”分享给小伙伴哦

微信扫码关注该文公众号作者

戳这里提交新闻线索和高质量文章给我们。
相关阅读
13张图穿透全球半导体供应链,美国砸钱力扶芯片制造起效果了?台积电公布 1.6nm 芯片工艺,iPhone 19 或首发他们追着台积电要3nm产能国内销量持续领跑,荣耀告诉你切入AI手机的正确姿势对话东方晶源:打造中国芯片制造的GoldenFlow台积电涨薪:4%31、长篇家庭伦理小说《嫁接 下》第十一章 大难之后(1)成本激增,技工短缺,台积电和英特尔美国半导体建厂严重推迟SK海力士与台积电签署谅解备忘录,合作开发HBM4和下一代封装技术;均普智能预计下半年发布二代人形机器人“贾维斯”丨智能制造日报中国的“琉球”,日本的“琉球”京东回应网友喊话刘强东做直播:在准备;美媒反思:美国错失引领芯片制造,史无前例的战略失误……CoWoS产能供不应求,台积电确认:继续扩产马斯克将访问印尼为星链服务揭幕;SK海力士与台积电敲定下一代HBM合作量产计划细节丨智能制造日报半导体产业如何支撑台湾人生活水平--台积电每年竟然能录用台湾出生人口的2%台湾股市大跌3.8%,台积电重挫7%,下调整体芯片行业增长预期台湾7.3级地震,台积电等芯片厂商影响可控台积电,很头疼台积电董事长预测:未来15年每瓦GPU性能提升1000倍,GPU晶体管数破万亿!逍遥医侠游传美国芯片制造业支棱不起来,全怪一张膜?台积电:乘风破浪,一往无前回国杂记(2301)第一次乘坐台湾长荣航空公司的航班回国小米汽车将推出纯电SUV,同时规划更低价车型|36氪独家两家芯片巨头,抢光台积电产能重磅!美国芯片制造业严重缺人,全球招聘蓝领工人造芯片...台积电将能制造120mm*120mm的芯片小米汽车将推出纯电SUV,同时规划更低价车型|首席资讯日报台积电们,都在买High NA EUV光刻机列强,瓜分台积电!英伟达市值超越苹果,市值突破 3 万亿美元/台积电董事长:华为不可能追上台积电/苹果客服回应 iPhone 灵动岛截图诈骗【首发】微远基因完成数亿元D+轮融资,持续领跑病原精准诊断赛道雷军:SU7大定超过10万;台积电苹果芯片生产线受损严重;受 MEGA 影响,理想调整组织架构 | 极客早知道熵泱——第四十七章芯片制造格局改写,美国终于干成了?华府消息|阿斯麦和台积电可远程关闭中国大陆芯片制造设备
logo
联系我们隐私协议©2024 redian.news
Redian新闻
Redian.news刊载任何文章,不代表同意其说法或描述,仅为提供更多信息,也不构成任何建议。文章信息的合法性及真实性由其作者负责,与Redian.news及其运营公司无关。欢迎投稿,如发现稿件侵权,或作者不愿在本网发表文章,请版权拥有者通知本网处理。