除了卖光刻机，ASML在国内还做了什么？

众所周知，ASML是全球半导体设备领域的重要供应商，他们提供的产品和解决方案是芯片制造的关键设备之一。作为最重要的半导体市场之一，中国自然也和这家荷兰巨头有着密切的联系。ASML财务数据统计显示，2021年，ASML在中国大陆的营业额达27.4亿欧元，占公司当年总营收的14.7%，成为继中国台湾和韩国之外ASML的第三大市场。

ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波也表示，自1998年向清华大学交付了首台步进式光刻机以来，ASML已在中国市场深耕30余年，在全方位光刻解决方案下，国内的装机量迄今已超过1000台。除此以外，如上图所示，ASML在华员工人数超过1500名，设有15个办事处、3个开发中心、1个培训中心、1个维修中心和11个仓储物流中心，以更好地服务中国客户。

究竟ASML是如何成为了业界领先的半导体设备供应商？他们在中国又将如何发展？9月，在与包括半导体行业观察等多家媒体的交流中，沈波对这些问题进行了一一解读。

从其精密程度上看，把ASML所打造的光刻机系统称之为“皇冠上的明珠”毫不为过，尤其是其最新型号的光刻机，目前更是在全球找不到第二个竞争对手。

沈波也认为，在光刻这个领域，想复制一个ASML很难。因为这个行业发展迅速，技术门槛也越来越高。据他所说，自1984年成立以来，ASML之所以能够在三十多年间从一间小小的办公室发展到现在，有两点是最关键的，分别是“开放”和“专注”。

首先，作为产业链上的重要一环，ASML并不是“独行侠”，而是开放合作的行业发展理念的积极倡导者，强调开放式的创新。

“我们所有的技术推进基本都是和合作供应商、合作伙伴，或是研究机构的合作伙伴一块研究的，从而形成了一个非常开放的生态系统。通过这种方式，我们把所需的，遍布全球的各个领域里的先进技术都吸纳进来，协力共进，从而走到今天。”沈波表示。他进一步指出，半导体是一条高度全球化的产业链，ASML所提供的全方位光刻解决方案，是半导体产业链中重要的环节之一。同时，在整个产业链中涉及众多供应商和芯片制造设备，每一步工艺和每一台设备，都举足轻重，不是一朝一夕就能成就的。

“ASML能拥有今天成就的另一个重要原因是专注。”沈波告诉记者。他表示，自成立以来，ASML一直专注于光刻技术，并一代一代往前推进光刻技术的发展。回顾ASML的发展史，从第一台光刻机系统 PAS 2000，到打响头炮的PAS 5500、革命性的TWINSCAN平台以及浸入式光刻设备，再到近年来的EUV光刻机，ASML一如既往地和合作伙伴一起迎接挑战，突破极限。

但正如沈波所说，虽然ASML因为光刻机被大家熟知，但其实除了光刻机以外，他们还拥有计算光刻、光学和电子束量测两块业务。

其中，计算光刻主要通过软件对整个光刻过程进行建模和仿真，以优化光源形状和掩模版形状，不断缩小光刻成像与芯片设计的差距，从而使光刻效果达到预期状态。光学和电子束量测业务则会在芯片生产出来之后，不断地用光学手段或电子束手段对芯片做计量和检测（简称量测）。这样做一方面可以检测芯片缺陷，另一方面计量曝光之后的成像效果，比如说统一性是否好，比如说关键尺寸是否一致。

“这是非常重要的环节，因为数据会反馈到计算光刻，以进一步辅助优化建模。这是个相辅相成的过程，所以我们也叫他们（光刻机、计算光刻和量测）‘铁三角’。其任务就是在成像的环节里帮客户提供全方位光刻解决方案。”沈波说。

因为其独特的市场地位以及当前的全球竞争局面，ASML在国内的布局备受关注。面对这个话题，沈波强调：“中国对全球半导体产业非常重要，ASML对中国在整个半导体产业里扮演的角色也非常坚定，我们将一如既往地投入和支持中国市场。”

据了解，在中国，ASML积极响应中国集成电路行业的需求，为客户提供包括光刻机台、计算光刻和电子束量测在内的全方位光刻解决方案。此外，ASML旗下的光源公司Cymer在中国也为客户提供用于DUV光刻机的ArF和KrF光源产品组合，以更多样化的方式支持中国客户。

在“铁三角”中，ASML中国团队参与了计算光刻和电子束量测业务的相关研发工作；其中，深圳和武汉的研发中心参与计算光刻研发，是全球研发体系的一环；北京研发中心在ASML电子束检测产品线中具有重要作用，参与了多个电子束检测模块研发。

在沈波看来，作为公司全球研发体系的一环，ASML在国内的技术团队和其他地区的团队通力合作，有不少项目都是各地的技术人员进行协作，融为一体的。“半导体这个行业从诞生第一天起就是全球合作的，在ASML也是一样。”沈波补充说。

在文章开始的时候，我们粗略谈到了ASML过去多年在中国的布局和进展。从与沈波的交流中我们得知，他们在国内做的布局也是为了更好地服务客户。“我们的仓库基本建在客户附近，仓库中存放着一些零部件，一旦出问题我们会快速响应，以尽快支持客户的生产工作。”沈波举例说。

据介绍，为了更好地服务国内客户，ASML除了筹备了一支由700多名客户服务工程师组成的中国专业客服团队，还组建了虚拟技术专家团队，旨在通过创新方式远程解决各种复杂问题。得益于这样的配置，ASML的工程师能够在武汉、上海等地疫情期间为客户提供周到的服务，确保了客户设备的稳定运行和持续生产。

与此同时，ASML还在吸引国内优秀的人才加入他们的团队。秉承独特的“3C”企业文化，ASML始终鼓励员工突破技术边界，并帮助他们获得更好的职业发展。

据ASML中国区人力资源总监王洪瑞介绍，ASML的“3C文化”包括了挑战求精（Challenge）、合作共进（Collaborate）、关爱致远（Care）。ASML所秉持的“3C文化”，与公司从事领域的特性有关。

“我们做的事情基本是在科学领域的各个环节上都极具挑战的，无论是物理、化学、光学、电子还是软件方面，光刻机可以说是高等技术的集大成者，所以真的需要有‘挑战求精’的精神，才能做到大家认为不可能的事情。”王洪瑞说。

“合作共进”则更容易理解，如前面所说，半导体设备本身就是产业链合作的结果。这里的合作不仅仅是公司内部的团队合作，还包括了和产业链上下游（如供应商和客户）的合作。“关爱致远”则是ASML企业文化中比较特别的部分。因为它不仅强调了对员工的关怀，还强调了对产业链甚至社区的关怀和回馈。

王洪瑞指出，ASML作为半导体设备厂商，设备是综合体，因此，所需要的人才专业背景涉及的范围也很广。对于加入ASML的技术类人才，无论是刚参加工作还是有一定工作经验，对于光刻机领域的了解还是不够的。因此他们在招聘到员工之后，都会提供完整的培训，帮助员工成长，助力员工拓展职业生涯。据介绍，ASML在多年管理实践中形成了一套完善的培训体系。定制化培训、年度技术培训、软技能培训和角色轮岗这一系列培训内容的有机结合使员工朝向多元复合型人才的方向快速提升。除此以外，作为优秀雇主，ASML不仅提供了业内颇具竞争力的薪酬福利，更着眼在身体健康、心理健康、财务健康、社交健康、职业发展健康这五大健康管理维度关爱员工，创造了极具吸引力的工作环境。

正是得益于这样一套完善的体系，ASML中国在过去几年迅速发展，公司的员工也从2017年的500多人，增加到1500多人。这些人才对于ASML乃至整个中国半导体产业来说，都是一笔巨大的财富。

“在半导体生产体系里，ASML不单单是设备供应商，还是重要的合作伙伴。我们踏踏实实做事，一如既往地克服各种困难，以更好地支持客户，这也得到了客户的认可。”沈波告诉记者。“对行业的关注，对行业发展的关心，这是ASML作为企业的责任，也是“关爱致远”（Care）文化的延申；怎么帮助大家往前走，这是公司文化里含义深远的文化元素。”沈波强调。

在笔者看来，沈波上述的“大家”除了他们的供应商，合作伙伴以及客户以外，员工也是当中的重要组成部分。

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