国内厂商芯片新技术绕过EUV光刻机，震惊欧美

答案是肯定的。SK海力士位于无锡的工厂产生的DRAM数量约占全球总量的15%。2021年， SK海力士计划对其位于中国无锡市的DRAM工厂进行升级，引入EUV光刻机，但是由于《瓦森纳协定》出口管制和美国长臂管辖等原因，该计划最终落空。

    外交部回应关于193nm光刻机禁售问题，图片来源：外交部

➢2022年7月8日，国务委员兼外长王毅在巴厘岛出席二十国集团外长会期间会见荷兰副首相兼外交大臣Wopke Hoekstra。王毅外长指出，全球化使各国市场联通、资源共享、产业交融，不仅使各方受益，也是人类社会发展进步的必然趋势。将经贸合作价值观化、政治化，搞封闭排他的小圈子，不仅违背经济规律，也不利于疫后复苏。Wopke Hoekstra表示，我曾多次访问中国，中国改革开放以来日新月异的发展变化令人赞叹。荷兰高度重视对华友好，高度评价半个世纪来两国关系取得的丰硕成果。

    王毅外长在巴厘岛出席二十国集团外长会期间会见荷兰副首相兼外交大臣Wopke Hoekstra，图片来源：外交部

➢2022年7月14日，据彭博社报道，Wopke Hoekstra对外证实，荷兰和美国正在商讨禁止荷兰光刻机巨头ASML（阿斯麦）向中国出口用于193nm光刻机。那么，这个可能性有多大呢？

    荷兰外交大臣Wopke Hoekstra证实荷兰和美国正在商讨ASML的193nm光刻机禁止出口中国大陆，图片来源：彭博社

中国是荷兰的第三大贸易伙伴，仅次于德国和比利时。2021年，中国大陆在ASML总营收中的占比为14.73%。2022年一季度，该公司共销售62台光刻系统，其中中国大陆占比34%，超越韩国和中国台湾地区，成为ASML第一大出货市场。ASML首席执行官文宁克（Peter Wennink）今年较早时曾说，反对禁止对华出口DUV光刻设备，因为这已经是成熟技术。

那么，EUV光刻机是否是高端DRAM量产的唯一解呢？业界目前正在探索的可能技术路径主要有两条。一条是紫外纳米压印光刻技术方法，另一条是材料架构技术创新方法。

     FPA-1200NZ2C紫外纳米压印光刻设备，图片来源：佳能公司官网

纳米压印光刻技术由美籍华人、美国普林斯顿大学周郁教授于1995年提出。其原理类似于中国古代的雕版印刷术，就是用机械力的方式把模板上的图形压印在硅片上面的光刻胶层。后来，人们进一步发展了紫外纳米压印光刻技术，借助于紫外光线的加持，纳米压印所需的机械力大幅度降低。实验已经充分证明，紫外纳米压印光刻不仅分辨率要高于EUV光刻，而且工艺简单，设备不需要复杂的光路系统和昂贵的光源，耗电量仅为EUV光刻机的几十分之一，已经广泛应用于AR/VR、传感、LED等领域。

但紫外纳米压印光刻存在的问题包括纳米压印掩模的制造、对准套刻、缺陷控制，等等。因此，业界并不看好紫外纳米压印光刻在具有复杂图形的、对对准套刻要求苛刻的逻辑芯片制造。但是，紫外纳米压印光刻在图形相对简单的、对对准套刻要求相对宽松的存储芯片制造中，仍然可能具有应用前景。比如，近年来，光刻机厂商的探花，日本佳能公司的紫外纳米压印光刻设备已经在日本三重县四日市的铠侠公司(NAND 存储器的榜眼，源于东芝公司)运行，据报道进展顺利。为高分辨、低成本、特定应用场景的先进光刻技术发展带来一丝希望。