TEL显示集群总经理归山武郎：面向IT的OLED面板应用最具增长潜力

9月7日-8日，由四川省人民政府、工业和信息化部主办的2023世界显示产业大会在四川省成都市举行。在大会主论坛上，TEL显示集群总经理归山武郎表示：“全球数字化的进程不断加速，推进了AR/VR等新兴市场的崛起，显示行业和半导体行业的市场需求也越来越多元化，显示技术提升的步伐将越来越快。”

TEL是全球最大的半导体制造设备和液晶显示器生产设备制造商之一，主要产品涵盖涂胶显影、清洗、等离子蚀刻、气体化学蚀刻、热处理成膜、金属沉积和探针检测，以及用于显示技术的干法刻蚀机。TEL凭借其在技术创新和产品研发方面的深厚历史，在这些设备的全球市场份额中均占据前两位，是该领域的重要参与者。

“我们正处于一个以数据为中心的时代，”归山武郎表示，“2020年到2030年，全球的数据量将以26%的年复合增长率快速增加，ICT（信息与通信技术）市场会持续高速增长。其中，智能手机仍是新技术的主要迭代平台，很多智能手机都开始搭载高性能内存、AI与数据处理器、图像传感器等新型的高性能半导体器件，未来还将有很大的进步空间。”

“我们正在进入一个‘IoP（人类互联网）’时代，”归山武郎指出：“近年来，随着人们开始越来越频繁的使用AR/VR设备、智能手表和健康监测器等智能可穿戴设备，设备中各种传感器都在时刻收集着数据，使每个人都变成了一个‘数据生成器’，人们与网络的连接也越来越紧密。在这样的社会背景下，显示技术的作用也会越来越重要，需求也会越来越多。”

归山武郎认为，半导体与显示技术是紧密相连的。当下显示技术正在往高清晰度、轻薄化、可折叠和低能耗等方向发展，这与半导体设备技术往高集成度、高速度、低功耗和高可靠性的发展方向非常相似。

TEL定义了一个超越传统逻辑和存储设备的新领域—“MAGIC”，涉及元宇宙、自动驾驶、绿色能源、IoT和信息通信等新兴应用领域。TEL认为这个市场拥有巨大的增长潜力，显示技术也是MAGIC市场的重要组成部分。TEL将把半导体和显示技术整合在一起，进行产品开发，实现更强的协同效应。

当前显示技术的主要应用场景包括：智能手机、笔记本电脑、显示器、汽车显示屏和电视，这些设备主要使用G6和G8等的玻璃基板进行量产，同时TEL也很关注未来更具有创新性和可能性的AR/VR/XR设备市场。

在显示技术方面，随着新图案化、新材料、新器件结构的不断涌现。高端电视领域正从a-Si向IGZO转变，从LCD向OLED过渡；而在移动领域，LTPS正逐步被高性能IGZO和LTPO替代。此外，各种传感器也开始被集成到显示屏下，各种各样的显示器形态也不断被推出。

想要实现这些复杂的结构，高精度的图案化加工技术变得至关重要。TEL认为，这与半导体产业类似，成功的关键在于高精度图案化、新材料的应用，以及新的器件结构。目前，最有增长潜力的是面向IT的OLED面板应用。

归山武郎预测，OLED技术将从智能手机快速扩展至笔记本和平板IT面板，市场会迅速扩大。预计从2023年到2028年，面向IT应用的OLED出货量将增加近7倍，这预示着该市场具有巨大的成长潜力。因此，TEL非常期待这个市场的发展，并推出了能为客户提供价值的产品。

显示技术趋势有三个方向：一是改善显示产品质量，满足人们对视觉的更高需求，由LCD向OLED转变；二是为了降低能耗，从LTPS转向氧化物半导体；三是迎合更大尺寸的需求，提高生产效率，面板尺寸从G6升级至G8。为了匹配显示技术的需求，在制造方面，TEL认为高精度图案化、减少掩模数量和减少产品缺陷将成为重点。比如因为随着面板切割尺寸变大，切割数减少，异物颗粒对良率的影响变得更大。

TEL的PICPTM干法刻蚀机已经在G6等小世代设备上证明了价值。面向下一代显示趋势，TEL在原有基础上升级推出了G8 PICPTMEX PLUS旗舰机型，可以很好的满足客户高精度，低成本，高良率的需求。