ASML突发声明：两大光刻机出口许可证被吊销！

芯东西1月2日消息，今早，全球光刻机龙头ASML在官网发布声明称，荷兰政府最近吊销了该公司2023年发货TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机的部分许可证，这会对其少数中国客户产生影响。

DUV光刻机被用于生产28nm及更成熟制程的芯片，理论上最高能制备7nm，主要供应商有荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等。

2023年3月，荷兰政府宣布对半导体技术出口实施新的限制，要求ASML需要申请出口许可证才能装运DUV光刻机。从ASML的解读来看，该新规主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购，暂不影响2000i之前的型号。该禁令于9月1日起执行。

当时这一禁令并未对ASML产生太大影响。该公司此前已经申请了出口许可证，这一许可证允许其在2023年内向外出售NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i等DUV光刻机。

2024年刚开年，这一许可证被吊销，ASML的TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机受到影响。

TWINSCAN NXT:2050i是一款高生产率、双级浸没式光刻工具，专为在先进节点批量生产300mm晶圆而设计。

另一个NXT:2100i是双级浸没式光刻系统，其配备了新的投影光学调整系统，可改善覆盖效果

ASML在声明中透露，最近该公司与美国政府就美国出口管制法规的范围和影响进行了讨论。

这可能与2023年10月美国宣布的新规有关。美国政府称，如果ASML的“Twinscan NXT1930Di”设备中含有任何美国零部件，美国政府有权限制其出口。这一DUV光刻机可以用来制造相对先进的计算机芯片，也可以制造中档和老款芯片。

知情人士称，去年年底，美国国家安全顾问Jake Sullivan就已经致电荷兰政府，但荷兰政府要求美国政府直接与ASML联系，以讨论DUV光刻机的发货事宜。

美国白宫国家安全委员会和荷兰外交部发言人拒绝置评。

ASML即将离任的首席执行官Peter Wennink在2023年10月份就告诉投资者，这些新的限制措施将影响该公司在中国多达15%的销售额。