中科院专家原创40000字《DRAM芯片风云》专栏
2022年10月7日，美国商务部产业安全局（Bureaus of Industry and Security，下称“BIS”）宣布了一系列在《出口管理条例》（Export Administration Regulations，下称“EAR”）下针对中国的出口管制新规。其中，新政规定美国芯片制造商必须获得美国商务部批准才能对华出口半导体和芯片制造设备。此外，还规定美国供应商在向生产18nm或以下的DRAM芯片、128层或以上的NAND闪存芯片、14nm或以下的逻辑芯片的中国企业出口设备时，必须进行逐案审查。10月11日，路透社援引消息人士报道，美国芯片工具制造商科磊（KLA）从周三（12日）起停止向中国大陆企业客户提供销售和服务，以符合美国政府出口管制新规。KLA在中国员工收到了其法务部的一封电子邮件，称从当地时间周二晚上11:59起，公司将停止向中国“先进芯片厂”销售和服务128层及以上NAND芯片、18nm及以下DRAM芯片和先进逻辑芯片的技术。出口管制新规传出后，中国大陆半导体股票市场遭受下跌。北方华创、至纯科技、拓荆科技、华海清科、盛美上海、中微公司、海光信息、安集科技等公司跌幅靠前，最大跌幅超过30%。其中，10月11日，北方华创再度跌停，报225.5元，该股节后已连续两个交易日跌停。今天，截止发稿时间，北方华创股票报217.77元。毫无疑问，中国芯片制造龙头企业，长江存储和长鑫存储将成为此次美国出口管制新规的主要打击对象！美方意在重演福建晋华事件。在芯光社特邀专家进行解读之前，首先简要回顾一下福建晋华事件。福建晋华、长江存储和合肥长鑫并称“中国大陆存储器三剑客”。其中，福建晋华和合肥长鑫主要产品是DRAM, 即“芯片之王”。长江存储主要产品是NAND， 即“芯片老二”。➢2016年2月26日，福建省晋华集成电路有限公司成立，旨在成为具有先进工艺与自主知识产权体系的DRAM制造商。➢2016年10月，福建晋华一期项目开工，投资370亿元，规划产能是6万片/月。➢2018年10月29号，美国商务部将福建晋华列入出口管制清单，宣称：“福建晋华即将增加DRAM的大量生产能力。这些即将增加的生产能力，有可能是根据来自美国的技术，威胁到了美国军事系统基本供应商的长期经济生存能力” 。据报道，在福建晋华列入出口管制清单的第一天，美国芯片装备厂商驻福建晋华人员全部撤出，所有设备装机、工艺调试全部终止，已下单未出货的芯片装备全部暂停出货。 中科院专家原创《DRAM芯片风云》专栏：美光vs晋华，一文带你复盘福建晋华事件全过程芯光社特邀专家对BIS出口管制新规的七个特点进行分析解读。需要特别指出的是，这些解读仅针对中国大陆存储器产业。原因很简单，中国大陆存储器产业是本次美国政府对中国大陆芯片业制裁的最大焦点。 毫无疑问，存储芯片是一种通用的芯片产品，这是业界的共识。比如，坂本幸雄先生曾是日本存储产业的领袖人物。2022年5月，坂本幸雄接受日经新闻采访时表示：“存储芯片一般被视为通用产品，很难想像会涉及军事用途，因此没有制裁的战略性意义”。显然，出乎意料，这次坂本幸雄先生说错了，主流的芯片业人士也都想错了。之所以说美方制裁中国大陆存储器产业在意料之中。原因很简单，美方现在对中方的芯片业制裁已经没有底线了。特朗普政府对中国的芯片业制裁属于战术性的，比如，中兴通讯事件、华为事件、孟晚舟事件、福建晋华事件，等等。尽管给中国的芯片业发展造成了巨大伤害。但是，还是属于战术性的，并没有一个战略性的规划。当然，这种战术性制裁措施是极为精准且凶狠的。拜登政府则不然。拜登政府对中国的芯片业制裁是兼顾了战略性和战术性。➢战略性方面：2022年8月9日，美国总统拜登签署了《2022芯片与科学法案》，其中最受关注的是对芯片行业投入527亿美元补贴，试图提升美国本土芯片技术研发和制造能力。
2022年8月9日，美国总统拜登签署了《2022芯片与科学法案》 图源：百度同时，该法案还试图逼迫国际芯片企业选边站队，要求获得美国政府补助的公司，10年内不能在中国大陆发展先进芯片的制造。该法案没有对先进芯片进行明确定义，外界普遍猜测是28nm技术节点。➢战术性方面：一系列组合拳随即打出。比如3nm EDA工具和高端GPU的断供，将110多个中国公司、研究机构新增列入“实体清单”，等等。其中最为轰动的是GPU断供事件。2022年8月31日，美国政府向英伟达（NVIDIA）和AMD两家芯片厂商提出的“停止向中国销售部分高性能GPU产品”，其中包括英伟达的A100和H100（以及后续性能达到A100的芯片），AMD的MI250系列在内的四款，主要应用于人工智能相关产业的高阶GPU计算芯片。 英伟达在8月31日向美国证券交易委员会(SEC)提交的一份文件显示，美国政府在8月26日通知该公司“停止向中国销售部分高性能GPU产品” 图源：腾讯网断供消息被公开后，英伟达和AMD股价连续两天下跌，其中英伟达9月1日盘中跌幅高达10%。但很快㺯国政府又授权英伟达继续开发H100集成电路所需的出口、再出口和国内（技术）转让。该授权还允许公司在2023年3月1日前为A100的美国客户提供必要的出口支持，通过其位于中国香港的设施继续运输和履行A100和H100芯片订单。2022年10月7日的出口管制新规的力度，不亚于特朗普政府的措施力度，甚至超过。瘫痪“中国大陆存储器三剑客”
是美国民主共和两党的共识
2021年，全球半导体市场规模是5559亿美元。全球半导体存储器市场规模为1538.38亿美元，在半导体市场规模中的占比为27.67%。毫无疑问，存储器是芯片产业支柱性产品，也是最大宗的芯片产品（没有之一）。
存储器主要包括DRAM、NAND Flash和NOR Flash三大类。其中DRAM和NAND Flash占据半导体存储器市场份额的约98%，NOR Flash占据半导体存储器市场份额约为1%。显然，瘫痪“中国大陆存储器三剑客”，是美方最渴望达到的目标，甚至超过对中芯国际的打压。特朗普政府完成了第一波打击，还来不及进行第二波打击，就下台了。拜登政府背后有高人
这次的制裁专业程度和力度比以往都大
2020年12月18日，美国将中芯国际列入“实体清单”。对用于10nm及以下技术节点的产品或技术，采取“推定拒绝”的审批政策进行审核，直接导致中国大陆无法进行7nm以下先进制程的技术升级。
2020年12月18日美国商务部发布消息称，将中芯国际（SMIC）列入实体名单 图源：美国商务部这次的制裁对象是“层层加码”。本次《出口管理条例》EAR修订中，第744.23节增加了某些半导体制造设备和相关物项，即对用于先进芯片制造的设备进行出口管制。同时对中国的芯片制造设备增加了新的许可证要求，向中国芯片制造商出口可以被用于16nm或14nm或以下非平面晶体管结构（即FinFET或GAAFET）的逻辑芯片、18nm半间距或更小的DRAM内存芯片、128层或以上NAND闪存芯片制造的半导体设备，都需要申请许可。本次《出口管理条例》EAR修订中，第744.6节下增设了（c）小节，并增设了第744.23节，对美国人参与中国境内的集成电路开发活动以及涉及中国的半导体制造最终用途设置了严格限制。此次对中方芯片产业进行全面制裁，意图从多方面对中国购买和制造高端芯片等物项施加更广泛和严苛的限制。全方位打压阻止中国“半导体崛起”。如果这些措施得到有效落实，中国先进芯片产业发展将可能倒退至10年前。显然，在长江存储的NAND打入苹果供应链，合肥长鑫的DRAM产品量产不断进展之际，精准出此重手，拜登政府背后的智囊团的专业化程度非同一般。拜登政府逼迫三大芯片美商装备巨头下场
堪称装备制裁杀手锏
CINNO Research统计数据表明，Q1'22全球上市公司半导体设备业务营收排名TOP10中，日本公司5家，美国公司3家，荷兰公司2家（包括大家熟知的ASML）。 Q1'22全球上市公司半导体设备业务营收排名Top10 图源：CINNO ResearchAMAT、LAM和KLA是三大芯片美商装备巨头，在芯片装备业具有不可替代的地位。尤其是号称“芯片制程控制之王”的KLA。众所周知，半导体量检测设备主要用于芯片制造流程检测，全球市场空间超百亿美元。芯片制造流程多达1000多步，几乎每一步流程需要在线的监测，以确保芯片良率。KLA在芯片制造流程检测装备中的地位，全球仅此一家！韩国三星电子和SK海力士是全球存储厂商三巨头的老大和老二。目前三星电子在西安和苏州分别建有NAND闪存工厂和半导体组装测试工厂，SK海力士则在无锡和大连分别建有DRAM和NAND闪存工厂，在重庆建有封装测试工厂。SK海力士25%的NAND晶圆产能和三星电子38%的NAND晶圆产能来自中国，SK海力士约一半的DRAM生产位于中国。目前，KLA公司停止向英特尔和全球第二大内存芯片制造商SK海力士旗下的中国芯片工厂供货。但是，大概率，美方会对韩方在华企业开绿灯，不会“误伤”韩国三星电子和SK海力士在华的生产工厂。一旦“中国大陆存储器三剑客”发展受阻，除了美国美光、西部数据等公司受益外，韩国存储巨头也将受益。一直以来，面临美国对国内芯片业的不断打压，国产芯片装备厂商也在加速自身研发。芯片生产包括“设计-制造-封测”三大环节。其中制造环节包括九类设备：光刻机、离子注入机、刻蚀机、化学机械抛光机、PVD、热处理、涂胶显影机、清洗机和量测设备。 其中，离子注入机、刻蚀机、化学机械抛光机、PVD、热处理、涂胶显影机、和清洗机目前均取得较大进展，基本能满足28nm量产需求，个别装备进展尤为显著，如中微公司的刻蚀机已经达到5nm技术水平。但是，光刻机还处于90nm水平，且还没有进入中国大陆芯片龙头大厂（比如中芯国际、上海华力、晶合集成）的前道工艺。量测设备方面，深圳中科飞测科技股份有限公司的有无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等，用在国内28nm及以上制程。用户包括中芯国际、长存、士兰集科、长电、华天、通富等。但是，替代KLA公司产品的征途漫漫。人才方面，此次制裁必然导致美国相关芯片装备公司在营收上有肉眼可见的下滑，后续相应会有在华技术支持人员的裁撤。相信这部分工程师人才会被国内相关芯片制造企业吸纳，转化为国产自研芯片装备领域的重要力量。2022年10月8日，外交部发言人毛宁主持例行记者会。
美国商务部刚刚宣布了新的芯片出口管制措施，旨在阻止中国获取敏感技术。本周四，美国将大疆等13家中国企业列入黑名单。中方对美方上述决定有何回应？毛宁：
美方出于维护科技霸权需要，滥用出口管制措施，对中国企业进行恶意封锁和打压，这种做法背离公平竞争原则，违反国际经贸规则，不仅损害中国企业的正当权益，也将影响美国企业的利益。
这种做法阻碍国际科技交流和经贸合作，对全球产业链供应链稳定和世界经济恢复都将造成冲击。美方将科技和经贸问题政治化、工具化、武器化，阻挡不了中国发展，只会封锁自己、反噬自身。
2022年10月8日外交部发言人毛宁主持例行记者会 图源：外交部显然，正如毛宁所指出：美方将科技和经贸问题政治化、工具化、武器化，阻挡不了中国发展，只会封锁自己、反噬自身。参考文献
1、重磅！KLA明起停止对中国的服务，芯榜 ，2022-10-11
2、详解美国出口管制新规，对中国企业影响深远， 楼仙英 戴梦皓 等 金杜研究院 2022-10-11
3、全面封锁“中国芯” 韩企或成最大受益者？韩国亚洲经济， 2022-10-11 17:09
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