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国内半导体设备领军者中科飞测登陆科创板

国内半导体设备领军者中科飞测登陆科创板

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在半导体整个产业链中,半导体设备是支撑电子产业发展的基石,也是半导体产业链上游环节中市场空间最广阔,战略价值最高的环节之一。近年来,我国半导体行业持续发展,在各环节均有所布局,其中封测、芯片设计等环节已经逐渐追上海外公司的脚步,但材料、设备等环节仍处于加速追赶的阶段。

在此背景下,深圳中科飞测科技股份有限公司(股票代码:688361 简称:中科飞测)于5月19日成功在上交所科创板上市。公司是国内较早从事高端半导体质量控制设备的企业之一,凭借自主研发和自主创新,公司已有多系列设备实现量产出货,并获得了中芯国际、长江存储、长电科技等多家知名集成电路厂商的认可,未来发展值得期待。

质量控制设备先行者,成功突围填补国内空白

半导体设备分类由半导体制造工艺衍生而来,从工艺角度看,主要可以分为:光刻、刻蚀、薄膜沉积、质量控制、清洗、CMP、离子注入、氧化等环节,其中刻蚀、沉积、光刻、质量控制合计占比73%是半导体设备行业最主要的构成部分。在以上四大类设备中,国内企业在刻蚀、沉积领域已经取得两位数的国产化突破,光刻和质量控制设备的国产化则还处于起步阶段。

△数据来源:SEMI、国泰君安证券研究

成立于2014年的中科飞测是国内领先的高端半导体质量控制设备公司,也是国内半导体质量控制设备领域的先行者。自成立以来,中科飞测始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等。

 
目前,中国半导体检测与量测设备市场中,科磊半导体、应用材料、日立作为前三大企业,合计市场份额占比超过70%,呈现国外设备企业高度垄断的市场竞争格局。设备的国产化率较低,且主要集中在后道测试,中科飞测专注于研发面向集成电路前道制程和先进封装的质量控制设备 。凭借着常年来的研发和积累,中科飞测的多款设备已实现量产出货,被应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线,填补了国内高端半导体质量控制设备市场的空白。

虽然国内企业占中国大陆半导体检测和量测设备市场的份额整体较小,但呈现快速增长趋势。中科飞测市场占有率增长较为显著,公司2018年至2020年营业收入复合增长率为182.12%,同期中国大陆市场规模复合增长率为29.61%,公司收入增速远超市场规模增速,受此积极影响,公司市场占有率增长较为迅速,由2018年度的0.35%增长至2020年度的1.74%,在国内厂商中处于领先地位

光学检测技术长期主导,检测设备国产替代空间广阔

目前全球半导体检测和量测设备市场规模高速增长,根据 VLSI Research 的统计,2016 年至 2020 年全球半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为12.6%,其中 2020 年全球市场规模达到76.5亿美元,同比增长20.1%。

 
从技术原理上看,检测和量测包括光学检测技术、电子束检测技术和X光量测技术等。不过光学检测系统凭借其速度快、成本低、视场大,成像范围广可显著提升设备吞吐量等优势,长期处于主导地位。根据VLSI Research和QY Research的报告,2020年全球半导体检测和量测设备市场中,应用光学检测技术、电子束检测技术、X光量测技术设备市场份额占比分别为75.2%、18.7%及2.2%。

随着技术的不断发展,未来光学检测技术还可以通过持续提高光学分辨率,并结合图像信号处理算法等实现技术创新与突破,进一步提升并增强技术优势,带来设备应用比例的增加,从而进一步带动设备市场份额的提升。

自成立以来,中科飞测一直立足于采用光学检测技术的高端半导体质量控制设备的研发工作,经过多年的技术积累,公司掌握了深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等核心技术,在该领域有着较强的竞争实力,能够获得更多的市场空间,尤其是在当前半导体国产化进程不断加速的背景下。

凭借巨大的市场容量以及多年的发展,中国已成为全球最大的半导体消费国和生产国。广阔的下游市场和不断完善的上下游产业链带动全球产能中心逐步向中国大陆转移。在集成电路产业国产化进程不断推进下,半导体产业规模的不断扩大将为国内设备厂商带来巨大发展机遇,国产设备将加速导入大陆晶圆厂,国产半导体设备将迎来快速发展期。 

鉴于量测和检测设备对于提升良率的重要意义,整体晶圆厂产线的国产化会大幅提升国内对于量测和检测设备的需要,当前我国半导体检测与量测设备市场国产化率仅约为2%,国产替代空间广阔,中科飞测作为国内半导体设备行业领军企业之一,将有望从中深度受益。

据招股书,中科飞测强调未来将继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向,不断提升研发实力,强化技术研发实力,提高产品性能、丰富产品类型及拓宽产品应用领域,缩小与国际龙头企业的差距,同时为我国半导体产业生态体系的完善和国产半导体设备从弱到强的转变贡献自身力量。


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