新微资本，投出一个200亿IPO

新微对中科飞测的投资就早于“显露成色的这一划”。

2023年5月，新微资本迎来了今年的第一个IPO投资组合——深圳中科飞测科技股份有限公司（下文称“中科飞测”）。作为国产半导体质量控制设备的龙头公司，中科飞测于19日正式登陆上交科创板，股票代码688361，开盘价66元/股，市值超200亿。在此我们对中科飞测表示衷心的祝贺。

作为新微资本IPO版图的第15块拼图，新微资本物联网二期基金参与了中科飞测在2016年的A轮与2019年的C轮融资。从迈过科技成果转化落地的死亡之谷到成功登陆科创板，新微与中科飞测一起协同产业力量，为实现高端半导体质量控制设备的国产化突破而努力。

中科飞测是一家由微电子研究所孵化的聚焦集成电路质量控制设备领域，以海外留学归国的研发和管理团队为核心，自主研发和生产半导体、工业智能检测装备的高科技创新企业。

公司创始人陈鲁本科就读于科大少年班，在美国布朗大学获得光学物理博士学位，毕业后先后入职美国Rudolph公司以及全球寡头量检测设备企业美国KLA-Tencor，并担任资深科学家。在美奋斗十余年，这段经历使他积累了丰富的技术和市场经验。

十几年前国内封装厂偏前道生产的设备严重依赖国外进口，几乎没有本土公司切入该领域，陈鲁敏锐地感觉到，实现半导体制造工艺中的检测设备国产化，其时已至，而自己在这一方面拥有足够的技术积累，寻找机会可以进行产业化。2011年，陈鲁回国，在微电子所进行光学仪器设备领域的研究，也是在这里，他完成了前期技术积累并搭建了公司研发团队的雏形。

2014年，对于中国的半导体行业来说意义重大。中国本土芯片企业崛起元年到来了。当时，陈鲁认为“封装业在我国集成电路产业链中占比最大，而先进封装（倒封装、WLCSP、Bumping 等）的发展速度非常快。封装检测设备国外领先中国，但先进封装检测设备国内外处于同一起跑线。国外的自动化设备并不比国内的产品好太多”。当国产芯片封装有了自动化检测设备和先进封装解决方案的迫切需求，恰逢其时，乘着这一股新兴市场的发展东风，叠加曾经工作和学术的经验势能，中科飞测于这一年的最后一天（2014年12月31日）成立了。

中科飞测以集成电路前道制程、先进封装设备为市场突破，研发的产品主要包括了无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品。经过多年的技术积累，公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等 9 项核心技术，拥有专利 340 项（其中发明专利68项）。

目前，公司产品已应用于国内28mm及以上制程的集成电路制造产线，是在Metrology（量测）和Inspection（缺陷检测）两大领域均在国内一线半导体制造厂商处取得批量订单的半导体光学检测设备供应商，与中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等集成电路前道制程及先进封装企业建立了深入的合作关系，打破了在质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断

实现科技成果与半导体产业的深度融合，中科飞测成功填补了国内高端半导体质控设备的市场空白，从回国创业到成为行业国内龙头再到科创板敲钟，创始人陈鲁在上市大会上提到：中科飞测从微电子所开始生根发芽，不断壮大，一步步成长为自主研发能力强、创新能力突出的企业。登陆科创板是中科飞测一个重大的里程碑，后边还有新的里程碑等待攀登。

深耕半导体行业，赋能科技成果转化，新微资本有自己投资的底层逻辑。作为芯片产业链中的一环，质量控制设备对于保证芯片生产良品率来说至关重要。半导体生产环节的工序繁复，超过500道时，只有保证每一道工序的良品率都超过99.99%，最终的良品率才可超过95%；而当单道工序的良品率下降到99.8%，最终的总良品率会下降至约90%。为了把握住这关键的0.01%，2016年，新微资本成为中科飞测A轮融资的共同领投方。这是新微投资的第一家半导体设备公司，即使面临着高投入、高研发、回报慢的风险，也敢于在项目早期就果断下注。

“选择中科飞测是从市场趋势、团队配置和产品策略的角度来考量的”，新微投资团队表示。从市场的角度看，2016年后，国内半导体行业、精密加工行业快速发展，国内晶圆厂与芯片生产线也在不断增加，中科飞测所处的集成电路质量控制领域作为半导体生产中重要的一环也在快速跟进。“以前我们忽略了良品率，但是未来这一方面的需求很大，质量控制设备对应了芯片生产增量与提升良品率的市场需求。”而在该领域，中科飞测就是当时最有希望在几年之内形成产品，并与国外一争高下的公司。提前布局中科飞测，也是在完善国产芯片的产业链条，为面向国际半导体战场做好准备。

来源:中科飞测招股书

作为出身科研院所的投资平台，新微资本肩负着推动科技成果转化的使命，一直以来都非常关注各个院所里的实验室项目和科研团队。“一眼相中”中科飞测，正是因为其创始人陈鲁不仅在海外头部企业积累了丰富的技术和市场经验，还带领了一支出身微电子所的核心研发团队。作为国内院所中第一支专门从事集成电路检测技术研发的科研团队，他们完整性高，磨合时间久，深耕研究晶圆表面纳米颗粒检测、芯片表面形貌检测等领域，并且得到了国家02专项的支持。根深者叶茂，源浚者流长，陈鲁团队是中科飞测的核心竞争力，助推产品不断改进迭代，保证了企业的可持续发展。

在具备了有潜力的市场和有能力的团队后，企业仿佛待测的金子，产品就像试金石，总要摩擦一下才能判断成色。新微对中科飞测的投资就早于“显露成色的这一划”。

“我们投资的时候，产品还没有验证通过，这需要魄力的。但是这个决定并不是出于对科研院所团队的盲目信任，而且因为我们看到了中科飞测为自己规划的恰当的产品策略。”正如马克·安德森提出的PMF概念（Product Market Fit），企业需要寻找产品和市场的最佳契合点，投资机构同样要以观“天下”的视野去审视企业的产品策略。在当时的市场环境下，想要在短时间内全面对标国际实现国产化是急于求成的做法，中科飞测选择从难度较低后道封装环节切入，这不仅与与国内的市场发展步调一致，也展现出企业稳扎稳打的严谨特质。

资金的注入只是第一步，投资机构和被投资企业之间，相通则共进，做好投后管理，虽是老生常谈，却是颠扑不破的。除了协助接洽下游客户和供应商，2018年7月，新微还协助中科飞测引进了国投创业与芯动能：“尽管稀释了部分我们持有的股权，但是为了公司整体向好发展，对接引入优质的新的产业投资人十分必要”。

这几年里，中科飞测将光学量测检测设备向更高的技术难度和更广的应用领域推进。从后道封装环节推进到更高精度要求的前道环节，从半导体量检测领域拓展到泛半导体量检测领域，填补了该领域国产设备的空白。除了业务上的突飞猛进，其团队在行业认知、客户资源积累与企业管理方面，都有一定的增强。2019年，新微资本追加投资，此时，中科飞测的估值已是三年前的9倍。在进行PreIPO轮融资时，其估值再次翻了一番，已经成长为质量检测设备国产化进程的标杆企业。

今年，中科飞测顺利登陆科创板。志不求易、事不避难，新微承载着科研成果转化的责任使命，在半导体创投道路中上下求索，终于收获了第一个从研究成果落地起步，走到上市成功的投资组合。

从2016年到2023年，新微对中科飞测进行投资与产业赋能已将近7年；陈鲁带领从实验室走出的中科飞测，到了科创板门口；我国半导体量检测设备基本已实现从 0-1 的阶段，已吹响国产替代号角。然而，不论是对于新微、中科飞测还是国产半导体质量检测行业来说，这都并非是终点。

来源:中科飞测招股书

量测和检测设备市场依旧被海外寡头企业所垄断。

根据2020年VLSIResearch的统计，全球前十大半导体设备厂商均为境外企业，占据高达76.6%的市场份额。中科飞测在产品线覆盖广度和设备制程工艺先进性方面，公司与国际巨头依旧存在差距。2022年，美国芯片管制新规出台，国产芯片厂商想在限制的技术范畴内扩产，或许要在检测量测设备的这一环进行关键突破，这增大了国内的前道检测与量测设备市场空间，尽管已进入放量前夜，走国产可替代的破局之路，中科飞测还有硬仗要打。

新微资本作为长期扎根科研院所的科技创业投资平台，未来将坚持市场化运作，凝聚社会资源，与中科飞测进一步合作，围绕其进行上下游产业链布局，成为重大科技成果输出、孵化科创企业的助力器。

同时，中科飞测的上市也是新微的一个起点，“我们孵化的其他科技成果转化项目也在逐步走向上市。

志之所趋,无远弗届，新微也将坚定地结合国家战略和市场情况，从四个面向出发，挖掘团队的更多可能性，在这些领域进一步发挥资本的作用，推动国产化芯片产业链自主创新技术成果和产业发展之间形成良性循环。”