华为麒麟9000S对ASML意味着什么？

本文作者：何伊然，编辑：杨羽，头图来自：视觉中国

如果没有这些年美国发起的“芯片战争”，ASML可能不会被大众所知。

如果搭载麒麟9000S芯片的华为mate 60 pro没有突然发售，ASML可能依然是无法企及的“神”。

它掌握着全世界芯片供应的命门——光刻机。光刻机是制造芯片的核心装备，除了ASML，日本尼康也有光刻机业务，但主流的深紫外线光刻机（DUV）、极紫外线光刻机（EUV）几乎被ASML垄断，其中顶尖的EUV光刻机只有ASML可以出货。

DUV光刻机主要用于14nm及以上制程，但多次曝光也可做7nm，所以很多人猜测麒麟9000S是不是用DUV多次曝光制造。“最话”从供应链了解到，目前麒麟9000S生产良品率高，在加紧备货，将应用到华为的诸多产品线。

无论麒麟9000S是用什么类型的光刻机制造、工艺是什么，都事实上撕开了封锁的一角。

2018年以来，慑于美国的压力，荷兰政府禁止ASML向中国出口EUV，但可以销售上一代的DUV。根据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

然而今年年初，美国为了进一步打压中国芯片行业，要求将DUV也纳入禁售范围。3月份，荷兰政府表示，考虑把光刻机的出口管制范围扩大到DUV。6月30日，荷兰政府宣布针对先进半导体设备出口的新规定，要求相关企业在出口先进产品之前须获得许可证，否则不得出口。

该规定原定于9月1日生效，但在中方的斡旋之后，禁令又获得了五个月的缓冲期。

近日，ASML官方表示：“荷兰政府也已经颁发了我们截至9月1日所需的许可证，允许ASML今年继续发运TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。”

按最新规定，ASML在今年底前能够继续履行与客户签订的合同，发运获得许可的光刻设备。公司强调，客户已经知悉2024年1月1日起有可能不会获得出口许可证。

ASML这一态度似乎是在向客户喊话“趁早下单”，也似乎是在担心DUV未来不再具有垄断地位。

一

中国已成为全球最大的半导体市场之一，占据了全球半导体消费总额的约50%。

在这样的情况下，欧美对华采取了堪称是“PUA教程”的打压策略：一方面强势压迫，要求各家公司必须服从于禁令，不准出售顶尖的EUV光刻机和高性能芯片；另一边，偶尔给出适度回转空间，在窗口期加紧销售非前沿产品。

类似的操作在最近几年反复上演。

归根到底，欧美厂商既不想中国掌握了核心技术，也不想失去中国市场。一旦中国在相关行业实现后发制人，那么会直接影响欧美在相关领域的行业主导权。

“中国是全球最大的计算机芯片市场，市场准入对我们和我们的中国客户一样重要。”今年以来，ASML总裁兼首席执行官温彼得多次在公开场合为中国市场发声。他表示，ASML进入中国市场是绝对必要的，并且中国寻求开发自己的半导体制造设备也是“合情合理的”。

7月19日，ASML公布2023年第二季度财务业绩，净销售额为69亿欧元，同比增长27%；新增订单金额达到45亿欧元，其中16亿欧元为EUV光刻机订单；净利润19亿欧元，同比增长35%。

从销售额来看，ASML并不是家超级大公司，但万亿计的消费电子市场却建立在它的产品基础之上，包括中国。

本季度，ASML共售出113台光刻机。其中，来自中国大陆市场销售收入占比为24%，环比大幅增长。

温彼得表示，过去两年，全球市场需求满足率不到50%，相较之下，中国市场的晶圆厂准备更加充分，中国市场消化了一部分其他市场放缓的DUV需求。近年来，全球芯片产能紧缺，ASML的供应链也受到了影响，交货周期拉长。为此，ASML采取快速发货策略，跳过部分原本在自家工厂完成的测试步骤，改为在晶圆厂完成最终测试和验收，以实现快速投产。这一策略也导致部分收入递延。

ASML预计，2023年第三季度净销售额将在65亿至70亿欧元之间，预计本年度净销售额将比2022年增长30%，高于此前预测的25%，毛利率也将略有增长。

由于宏观经济的不确定性，各行各业的客户都变得更加谨慎，市场复苏也将滞后，且复苏态势尚不明朗。温彼得强调，ASML拥有总价约380亿欧元的未交付订单，为应对市场短期不确定性提供了良好基础，公司有望在2024年迎来明显的增长。

温彼得乐观地认为，在AI、工业物联网以及能源转型的带动下，半导体产业在短期周期后，会迎来长期增长。他预计，2025年ASML可以实现销售额300亿至400亿欧元；到2030年，销售额有望达到440亿至600亿欧元。

而无论是生成式AI、工业互联网、新能源车，中国都是全球第二大甚至最大的市场，ASML想要保持业务高速增长，就离不开中国市场。

二

长期以来，中国大陆都是ASML排名前三位的大市场。

“我们继续进入中国市场是绝对必要的。”今年，温彼得在媒体面前表态认为，中国的半导体公司为了与全球对手竞争，必须购买行业前沿、非中国制造的机器。

他甚至还抱怨，在美国的压力下，ASML放弃的已经够多了。

温彼得曾说：“芯片禁令会让中国拥有自己的技术。”他还说：“如果不能得到这些机器，中方就会自己研发这些机器，研发需要时间，但最终他们会实现目标。”

这倒是坦诚的实话。

对ASML而言，保持对华出售其实也可以降低中方自主研发的决心。毕竟，全球范围内有实力组建团队开展光刻机自研的公司不多，从盈利角度来看，直接购买现成品反而是降低支出、控制成本的方式。

在经营层面，走上自研道路更多时候是迫不得已的选择。所以，美国的“禁售令”某种程度上是“助推剂”，过去以纯经济利益考量的选择，被自主可控的安全优先意识所取代，芯片制造设备国产化被坚定执行。

事实上，早在1977年，中国最早的光刻机GK-3型半自动光刻机就诞生。这时候，ASML还没有出现。但彼时中国的电子工业以及消费电子工业相对于欧美国家还落后，在上世纪80、90年代半导体产能过剩的大背景下，更先进、价格更低廉的国外半导体产品涌入中国市场，中国企业纷纷退出。

那段时间，ASML的日子同样并不好过。1967年，飞利浦技术团队造出6镜头重复曝光光刻机的原型，由于高层不看好商业化前景，相关产品发展停滞不前。八十年代，为了度过经营危机，节省成本，飞利浦大举剥离非核心业务。

1984年，荷兰公司ASM和飞利浦及私募基金MIP共同投资成立了ASML。

尽管ASM创始人对光刻机有着充沛的热情，但是他没有能带ASML走上正轨，ASM在四年后黯然离场，投入的三千多万欧元也打了水漂，ASML大部分股权回到飞利浦手中。

那一时期整个光刻机行业都在经历洗牌，日本厂商凭借在光学、电子上积累，在金融体系的支持下，击败了欧美厂商，昔日龙头GCA濒临破产，ASML苦苦支撑。

直到1991年，ASML凭借“可拆解光刻机”PAS 5500从IBM手中拿下十亿美元订单，一举奠定了地位。

ASML连夜拍摄设备使用视频给无法坐飞机抵达现场的IBM项目经理的故事也常常被企业宣传人士当作案例。

1993年起，ASML和老牌企业蔡司深度合作，并拿下蔡司半导体光学部门24.9%的股权。

经过十一年奋斗，1995年ASML上市，才正式拥有了与日本半导体龙头叫板的资本。

彼时美日之间，围绕着半导体产业链竞争激烈。面对咄咄逼人的日本厂商，1986年，美国强迫日本签订了《美日半导体协议》，这份不平等的协议的主要内容是：限制日本半导体对美出口数量、对第三方的出口价格，以及强制扩大美国半导体在日本的市场份额。在之后，美国又强迫日本签订了第二次的《美日半导体协议》。

即便如此，在ASML上市的1995年，全球半导体销售额前十的企业中，还有5家是日企，尤其是NEC和东芝，牢牢占据冠亚军位置。尼康、佳能在光刻机领域仍处在领先地位。

转折点在1997年，美国能源部和英特尔牵头成立EUV LLC联盟，研发EUV光刻机。美国很自然地选择了欧洲背景的ASML加入EUV联盟。

期间，ASML与台积电工程师林本坚合作，2004年12月，日本半导体展SEMICON Japan开幕，ASML正式推出浸没式光刻机的原型机，此后通过浸润式光刻技术攻克芯片制程卡顿，一举实现了对尼康的反超。2007年，ASML的光刻机市场份额达到60%。

2015年实现量产的EUV光刻机真正让ASML封神。在先进制程领域，日本厂商被迫退出市场。

2003年，EUV联盟拿出理论成果后解散，所有技术成果都由ASML掌握，其拥有优先使用权。2012年，ASML以技术为条件提出“客户联合投资计划”，拿出25%的股份邀请客户变股东，换取优先订货权。英特尔、三星、台积电三家公司分别拿下了15%、5%、3%的股份。

可以说，ASML的崛起除了找到了合适的技术路径，也离不开在美日“芯片战争”里美国的大力扶持。

三

ASML光刻机是个极其复杂的机器，总共10万多零件中，90%是与供应商合作的，产权共有，产业链上下游涉及5000多家公司。

而这一链条上，不少供应商或者技术来源是美国。并且作为加入EUV联盟的交换条件，美国政府拥有对ASML生产的监管权限。若是ASML没有争取到欧美的鼎力支持，或许现在的光刻机霸主还是日本企业。腾飞的资本、技术源头于美方，ASML只能服从禁令。

但是从文艺复兴时代就擅长于在全世界做生意的精明荷兰人，也不想一直当美国的跟班。

“首先，我们是一家欧洲公司，我们的工具中没有使用太多的美国技术。”财报中，ASML频频撇清与美方的关联。

美国掀起的贸易保护主义加剧了全球各国之间的隔阂，美国和欧盟的利益分歧越来越多，美国也在寻找新的突破，构建完全由自己掌控的下一代光刻机。

近几年，美资企业不断在尝试新的光刻机制造方向，电子束直写光刻机（MEB）、定向自组装技术（DSA）以及纳米压印技术（NIL）等技术都取得了进展，成为可能的未来发展方向，只是在商业化指标上还无法和ASML的EUV相提并论。

EUV LLC联盟的同声共气是建立在美国绝对自行能当领导者的基础上的，现在或许再难得见了。

目前，全球半导体市场需求走弱，产能过剩。据外媒报道，台积电很可能在今年底前关闭部分EUV光刻机，半导体储存制造商美光也宣布2023财年设备投资减少50%。

行业下行期，中国市场展现出的韧性是绝佳的博弈筹码。

2023年，荷兰外贸与发展合作大臣就表态称，在向中国出售芯片设备的问题上将捍卫本国的经济利益，“荷兰不会一比一照搬美国的措施，我们会作出自己的评估。”

某种程度上，ASML小心翼翼地维系着和中方的合作是眼下最有利双方的破题之道。

截至今年4月， ASML在中国拥有16个办事处，员工数超过1600人，为客户提供全流程服务。

第三方统计显示，半导体设备国产化率普遍不超过36%。在国家政策下，自主可控是大势所趋，有着极大的挖掘潜力。麒麟9000S的横空出世，是一个强有力的信号，也可能预示着半导体制造设备、工艺的国产化率正在加速。

截至目前，麒麟9000S只有华为一家采用，从供应链了解的情况，华为各业务线的需求在排期。而从华为剥离出售、已独立经营的荣耀还不会采用麒麟9000S芯片。

在未来一段时期，ASML的光刻机仍然是制造高制程芯片的主力机。

但事态明显的是：一边美国积极另起炉灶，一边中国奋力追赶，两头夹击，处在夹缝中的ASML只能既不得罪美国，又不想失去中国市场，只有在平衡中寻求发展。

在现阶段微妙平衡之间，中方如何找到机会再进一步或许是该认真思考的话题。ASML可以利用美方对日资的担忧拿到专利筹码，中国的企业未尝不可从中借鉴。

毕竟，商业战场上没有永恒的朋友，只有永恒的利益。

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