直播邀请 | 干涉仪PFM在压电铁电材料测试中的应用

压电和铁电材料是功能材料的重要类别，在声呐、医学成像、射频滤波器、非易失性存储器等领域中有着广泛的应用。在现今器件越做越小的趋势下，原子力显微镜（AFM）的PFM模式已经成为在微纳尺度下表征材料机电耦合特性的重要工具。

在最基本的PFM测量中，导电AFM针尖与样品接触，并施加交流偏压。机电耦合特性使样品产生形变，造成悬臂的动态弯折。AFM的检测光路测量悬臂的弯折（Deflection），然后将信号输入到锁相放大器，得到信号的振幅和相位。振幅与有效压电系数成正比，而相位和极化方向相关。

PFM技术可以达到纳米级别的空间分辨率，并能够对样品进行原位的操作和检测，在压电和铁电材料的基础研究中起到了关键作用。然而，传统PFM技术测量悬臂弯折的方式，使之容易受到形貌和静电力的影响，面内和面外的信号也可能发生串扰，因此并不擅长做定量表征。针对定量测试的需求，牛津仪器Asylum Research在PFM技术中集成了干涉式位移传感器。干涉式位移传感器直接测量悬臂的位移（Displacement）而非弯折（Deflection），极大地提高了PFM技术的准确性和可重复性。

本次网络讲座，我们将会介绍干涉式位移传感器的原理，以及它为何能够减小PFM测量中的干扰因素，去伪存真。报告还会介绍干涉仪PFM的具体应用案例。例如铪锆氧和二维材料，其压电系数通常较弱，PFM测量很容易受到非压电因素的干扰，难以判断铁电信号的真伪。又例如钪掺杂氮化铝，是5G滤波器中的核心材料，需要有定量的PFM测量方法，对其进行工艺开发和工艺监测。对于这些具有挑战性的新领域，干涉仪PFM技术能够给出更可靠的表征结果。

直播课程详情

时间：11月22日10:00-10:45

题目：干涉仪PFM在压电铁电材料测试中的应用

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报告人介绍

竺仁  牛津仪器应用科学家

2015年毕业于美国明尼苏达大学机械工程系，在博士以及博士后期间积累了多年的原子力显微镜使用和研发经验。2016年加入牛津仪器Asylum Research ，任职原子力显微镜应用工程师，负责原子力显微镜的技术支持和应用发开。