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关于华为发布会没提的“7nm芯片”,你需要知道的9件事

关于华为发布会没提的“7nm芯片”,你需要知道的9件事

时事



上半年,我国占全球出口份额比重保持基本稳定。但大局之下,正在悄然的发生变化。接下来的进出口状况怎么样?我能不能从中找到属于我的机会?

请允许我在10月28日这天,和你做更细致、深入的分享,也期待你,来到现场,让我们一起更早看到未来。


观点 / 刘润    主笔 /尤安  责编 / 黄静

这是刘润公众号的第2019篇原创文章

今天,华为开了发布会。

恭喜华为。

这场全场景新品发布会,没提手机,没聊芯片。

但是,对于Mate 60系列手机,和它那块让很多人惊呼的“7nm芯片的关注,依然在。

发布会的弹幕上,一度划过:手机呢?芯片呢?光刻呢?

时间回到28天前。




一声惊雷

8月29日,华为Mate60 Pro手机,在没有任何宣传的情况下,突然开售。

紧接着,从各大热搜榜,到我的朋友圈,都被一个词刷屏了:7nm芯片。

很多第一批抢购到这款手机的人,都在不约而同地做一件事:拆。

把手机里的那块麒麟9000S芯片拆出来,跑分,验性能,看做到了什么水平。

结论是:这可能真的是7nm芯片。

一声惊雷。

很多人都在感慨:“最难的时候已经过去了,轻舟已过万重山。”

为什么这么说?要做出一颗7nm芯片,到底有多难?真的很了不起吗?做出或没做出,和我又有什么关系?只是买不买新手机的关系吗?

刚好,前段时间我的直播间请来了《芯片战争》的作者,余盛老师。我也借此机会看了一些资料,请教了一些朋友。我越来越有一种感觉:

要造出7nm芯片,真的需要越过万重山。

如果能越过,真的了不起。

这种了不起,真的值得你知道。

所以今天,我帮你梳理一下。

资料有点硬核,我争取用普通话来和你说。

先说让很多人起立惊呼的”7nm”。





7nm 

首先一个问题:这个7纳米,指的到底是什么?

为什么都在关心这个数字,很厉害吗?

这件事,还得从你说起。

你去买手机时,是不是要它性能强,要它续航长,还要它轻薄身材好?

这三个要求,传到芯片的世界里,就变成了三个“终极KPI”:

PPA。

Performance 性能 、Power 功耗 、Area 尺寸。

这个PPA落到制造芯片的厂商那里,又变成了一个“小目标”:

把更多的晶体管,塞进更小的芯片里。

主打一个既有更多干活儿的员工,能帮你做更多更大的项目,又少耗你的电,少占你的地。

可是,员工太多,塞不下怎么办?

解决方案很过分:让员工减肥。

晶体管的构造里,有一道“沟”,很有点减肥的空间。

所以,注意,最开始聊芯片,说“你这是28nm芯片”,“我这是14nm芯片”时,28nm, 14nm,指的并不是芯片的大小,不是晶体管的大小,也不是晶体管和晶体管之间的距离,而是晶体管里的这个“沟道宽度”。

但是后来,聊着聊着,卷起来了。28nm,14nm,7nm……

卷到“7nm芯片”时,“沟道宽度”是不是真的减到了7nm,已经不是重点,各有说法了,但本质没变:

更小的纳米制程,就意味着更好的PPA,可以在更小的“办公室”里,塞下更多“员工”。

塞多少算够?

做出14nm芯片,意味着要在每1平方毫米里,塞下3千多万个晶体管。

做出7nm芯片,则意味着要在每1平方毫米里,塞下近1亿个晶体管。

翻倍的能干。但也,翻倍的艰难。

而这,仅仅只是“过万重山”的一个开始。

因为光塞得下还不够,那么多晶体管要一起协作,必须按特定的电路图来排兵布阵。

那么问题来了:怎么把一张精细到纳米级别,却又复杂到堪比上海地图的电路图,刻到比指甲盖还小的芯片上?




光刻 

没错,就是靠那个听上去就很贵的办法:光刻。

靠光,怎么刻?

这事,说复杂,可以很复杂。一台光刻设备,十万多个零件,价格动辄上亿美金,还不包邮,算下来比一台波音737还贵,就只为能干成这件事。

但说简单,也很简单。你看过电影吗?

传统的胶片电影放映时,会先打出一束光,让光线穿过一个像放大镜一样的镜头,再穿过一层电影胶片,就能把胶片上的图案,投射到银幕上。

光刻也类似。也是打出一束光,穿过一组透镜系统,再穿过一层掩膜版,就能把掩膜版上刻着的电路图,投射到制作芯片的衬底,也就是晶圆片上。

区别只在于,放电影,是用“放大镜”,把小图投成大图。光刻,则是用“缩小镜”,把大图投成小图。

用光的投射做杠杆,真聪明。可是,到这一步,也只是清楚地描好了边,知道接下来往哪儿下手。

但,怎么下手?

一张7nm芯片的电路图,要把几十上百亿个晶体管和其它电子元件,都安排得明明白白。

并且,从晶体管,到连接晶体管的导线,都精细到了纳米级,比你家菜刀的刀刃还要细上10万倍。

有行业里的人曾形容:这就相当于要在一个指甲盖大小的地方,刻出整个上海。而且不能刻漏一间房,不能刻歪一条路。

太疯狂了。这要怎么刻?怎么刻,才能 “快、准、稳”地刻出这种电路图的沟沟壑壑?靠激光吗?

一开始,也不是没人试过。

可是,激光直写,纳米压印……一个个方法试下来,有的很贵,有的很慢,还有的很容易报废,很难商业化,谁这么刻谁亏钱。

直到,有人发现了一个非常有想象力的方法:

曲线救国。用光刻胶。




光刻胶

什么是光刻胶?

光刻胶,是一个对光挺敏感的东西。

一旦被特定波长的光照到,就会发生化学反应。

本来很硬气的,一照就怂了,变得能很轻易就被化学溶剂洗掉。

拿捏住这一点,光刻就有了全新的解题姿势:

不靠一笔一笔地物理雕刻,而靠一层一层地化学腐蚀。

涉及的工艺虽然很多,但思路大体上和“把大象关进冰箱”也差不多,主要就四步:

第一步,涂胶。往芯片的原材料,也就是晶圆片上,均匀地涂上一层光刻胶。

第二步,打光。让特定的光束,透过画了电路图的掩膜版。

有线条遮着的地方,照不到光,光刻胶是一种脾气。

没线条遮着的地方,照到了光,光刻胶就变成了另一种脾气。

第三步,洗胶。把两种脾气的光刻胶所覆盖的晶圆片,放进特定的化学溶液里,发生反应。

那些变了脾气的光刻胶被溶解后,电路图就在光刻胶层显示出来了。

第四步:蚀刻。把晶圆片放进腐蚀液里。

光刻胶依然没被溶解的地方,相当于覆盖了一层保护膜,而光刻胶被溶解了的地方,会直接接触到腐蚀液,被“快、准、狠”地蚀刻出与电路图相对应的沟沟壑壑。

光、掩版、光刻胶、晶圆片,再加上各种化学溶液原以为难于上青天的物理题,突然就变成了一道平平无奇的化学题,被攻克了。

这,就是现在主流的光刻方式:

先像放电影一样,通过“缩小镜”的投影,把电路图投影到衬底上;

再像洗照片一样,通过局部曝光光刻胶,把电路图蚀刻到芯片上。

这样看上去,光刻也不算复杂啊。

看上去不。

这里有一个关键难点,光的波长。




波长

要刻出纳米级精细的电路图,至少,你手里的刀,也得足够精细吧。

怎样获得一把更精细的刀?

当你的刀是不锈钢做的时,你只要把刀刃磨锋利就行。

但当你的刀是一束光,你什么也磨不了时,怎么办?

从刀的材料源头解决:波长越短的光,天生刀刃越锋利。

因为波长越短的光,衍射的扩散角度越小,换句话说,就是越会乖乖走直线,不糊不乱跑,你指哪儿它打哪儿。

那还不简单,打开光谱图,直接找波长最短的那种光,用起来不就行了。

光谱图(图片来源:www.asml.com/en)

不简单。因为,短波长的光,不是你想用就能用的。

你有没有能力在成本可控的前提下,稳定而持续地发出它?你的光刻胶和它来不来反应?你的其它工艺流程能不能和它兼容?

都是难题。都得摸索。

摸索到今天,能让人效率稳定、成本可控地拿起的“光刀”,主要有2把:

DUV和EUV。

DUV,是一种光的名字:Deep Ultra-Violet(深紫外光)。波长可以短到193nm。

很多人认为,用这把“光刀”的光刻设备,基本只能刻出20nm以上制程的芯片。

EUV,也是一种光的名字:Extreme Ultra-violet(极紫外光)。看名字就知道,这种光卷得更狠,波长可以短到只有13.5nm。

谁拥有了这把刀,谁就有机会再往前一步,刻出7nm,甚至,5nm,3nm,2nm这样更先进的芯片。

太好了。那找短光波的问题不就解决了吗?

要制作7nm制程的芯片,就去用EUV啊。

技术问题是解决了。但其他问题来了。

有人卡脖子。



卡脖子

目前,世界上能生产出EUV光刻设备的公司,只有一家:荷兰的ASML。

2018年,中国的中芯国际,拿出了相当于它全年利润的1.2亿欧元,向ASML订购了中国第一台EUV光刻设备。

一笔大单。ASML也很高兴,连出口许可证,都准备好了。

但是,美国发声了。声称EUV光刻设备中有20%的美国零件,想要出口必须征求他们的同意。而他们不同意。

一纸禁令。怎么办?用不了可以刻7nm芯片的EUV,就造不出7nm芯片了吗?

能不能用只能刻20nm以上芯片的DUV试试?

有希望。

有两个技术,可以带来希望:浸没式光刻,多重曝光。



浸没式光刻


什么是浸没式光刻?

很简单,翻译一下,就是:泡到水里刻。

已知:你那把“光刀”的波长,越短越好。

又已知:DUV的光波,最短只能短到193nm。

一个刻出更先进芯片的思路,就出现了:能不能把DUV的波长,变得更短?

能,加水。

在晶圆表面和透镜之间,加上一层超纯水,纯净到不含矿物质、颗粒、细菌、微生物等任何杂质,只有氢离子和氢氧根离子的超纯水。

然后,让光在水中发生折射。

193nm的深紫外光,在水中的折射率为1.44,波长可以进一步缩短到134nm。

“刀刃”,就这样变得更锋利了。

太聪明了。

这个方法,把DUV光刻设备,从“在空气里刻”的干式时代,直接带进了“在水里刻”的浸没式时代。

但是,还不够。

靠这个方法迭代 “刀刃”,你有可能在你班里提提名次,把制造水平从28nm制程提升到22nm制程,但要一口气考上清华,搞定7nm制程,还是很难。

怎么办?

还可以再加上,另一个办法:多重曝光。





多重曝光

什么是多重曝光?

也很简单,翻译一下,就是:多刻几次。

如果,我就是要刻出更精细的芯片,但我就是没有手术刀,只有斧子,那……我能不能试着用斧子多劈几下呢?

也行。

具体怎么个劈法?

我举个例子,切糕。

你去买切糕,老板不拿手术刀,不拿菜刀,而是拿着斧头给你切。

一斧头下去,至少劈出1指宽,收你20块钱。

你不接受,你只想买7块钱的,可是你又没有更好的刀,怎么办?

挪案板,接着劈。

劈一次,把案板往旁边平移一次,照着1指宽的那块再劈一次。

多劈几次,平移得精确些,总能把1指宽的切糕劈得更窄,从20块钱里再劈出7块钱的。

劈一次,平移一次,再劈一次,直到劈出更窄的

多重曝光,也一样。

上一组掩膜版,曝光相应位置的光刻胶,在晶圆片上加工出精细到间隔为134nm的线条。

然后平移一次放置晶圆片的底座。

再上一组掩膜版,再曝光一次,就能加工出67nm的线条。

重复几次,线条就能越来越精细。

这,就是多重曝光。

所谓的LELE工艺,LFLE工艺,SAPD工艺,本质上都是多重曝光,多刻几次的办法。

那就一直曝光,多曝光几次,不就能搞定7nm芯片了?

还是不行。这个办法,有极限。

多举几次斧头,会多费很多力气。多劈几次切糕,也会多很多把切糕切歪的概率。

多重曝光也一样。每曝光一次,就会多很多时间、耗材等成本,也会多很多报废的可能,降低芯片的良率。

更高的成本,更低的效率,都是用DUV光刻设备通过多重曝光制造7nm芯片,所必须付出的代价。

而芯片的制造,不止是一道技术题,还是一道经济题。除了“能不能做”,还要兼顾“值不值得”。

所以,很多资料都认为,综合考虑下来,就算加上浸没式光刻和多重曝光,造7nm芯片也几乎是DUV光刻设备的天花板了。

要想制造7nm芯片,乃至更先进的 5nm芯片,3nm芯片,还得是EUV光刻设备更靠谱。

真难。

要制造出7nm芯片,靠EUV光刻设备,买不到,靠DUV光刻设备,又有代价和天花板。

那未来怎么办?和我又有什么关系?




未来

和你的关系,当然不止是买不买一台手机。

在科技行业,有三大定律。

摩尔定律,反摩尔定律,安迪比尔定律。

摩尔定律,你可能已经知道了。

这个英特尔公司创始人戈登·摩尔博士提出的定律预言:

每18个月,计算机等IT产品的性能会翻一番。

然后,是反摩尔定律。

谷歌的前CEO埃里克·施密特提出,如果反过来看摩尔定律,一个IT公司如果今天和18个月前卖出同样多的、同样的产品,它的营业额就要降低一半。

而安迪比尔定律,更像是预言后的祝福。

这个定律的原话,是 “Andy gives, Bill takes away.(安迪提供什么,比尔拿走什么。)”

安迪,指的是英特尔前CEO安迪·格鲁夫。

比尔,指的是微软前CEO比尔·盖茨。

这条定律,指的是硬件提高的性能,很快就会被软件消耗。

比如,你电脑里的英特尔CPU提到i5时,里面装的Windows系统也会紧接着升级,告别XP。

每次软硬件刚刚好匹配时,都是一次对算力的跨越。

现在,把这三个定律连起来,会发生什么?

先是,一个行业,会迭代。

大家惊呼7nm芯片,很快又会惊呼5nm, 3nm, 2nm, 1nm……

再是,一个公司,会发展。

你会看到更多热搜,聊手机的销量,聊对手手机的销量,聊高端市场的份额……

再后来,你可能换了个快一点的新手机,可能没换。

但是,与此同时,在硬件能力提升时,软件能力也有机会顺流而上。

一次对算力的跨越,会再次开启:

一个杭州的服装电商,某天会发现上游工厂一上新,下游客户就能在线选,可以再不用背库存压力。

一个石家庄的客服小哥,某天会发现他自己一个人可以服务一整座城。

一个南海的油气勘探工程师,某天会发现他可以一口气运算100TB的数据,给整个地表做CT。

你,会发现你的世界,进入了一个算力再次被提升,效率再次被刷新的时代。

7nm芯片的故事里,不止有芯片,还有算力,有科技发展,有竞争博弈。

这是一个百年不遇的大变局。

在这个变局的风浪里,有人高呼轻舟已过万重山。

从没有7nm芯片,到拥有7nm芯片。从DUV,到 EUV。从一台新手机,到一种新算力。

都很艰难,都有可能。

但是,山外还有山。

7nm的外面,还有5nm,3nm,甚至2nm,1nm……

怎么办?

轻舟没有回答。它只是继续向前航行。

前进,前进。

祝福。



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