中国官宣:正式推广国产DUV光刻机,8nm
Helen_Wood
楼主 (北美华人网)
中国的工业和信息化部,正式官宣,推广氟化氩光刻机(8nm),就是DUV
官方链接:
https://www.ncsti.gov.cn/kjdt/tzgg/202409/t20240910_178490.html
其中附件是: https://www.ncsti.gov.cn/kjdt/tzgg/202409/P020240910494452988508.pdf
2.1.6 氟化氩光刻机 晶圆直径:300mm; 照明波长:193nm; 分辨率≤65nm; 套刻≤8nm
看来是真正的搞定了DUV, 这绝对是石破天惊的重大利好。
官方链接:
https://www.ncsti.gov.cn/kjdt/tzgg/202409/t20240910_178490.html
其中附件是: https://www.ncsti.gov.cn/kjdt/tzgg/202409/P020240910494452988508.pdf
2.1.6 氟化氩光刻机 晶圆直径:300mm; 照明波长:193nm; 分辨率≤65nm; 套刻≤8nm
看来是真正的搞定了DUV, 这绝对是石破天惊的重大利好。